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--小型等離子清洗機
簡要描述：--小型等離子清洗機應用范圍：PCE-6小型等離子清洗機的等離子腔體為Ø160mm×190mm的石英腔體，采用的射頻電源功率3.0MHz（1%），輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質（如親水和疏水性等），對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。
產(chǎn)品型號： PCE-6
所屬分類：鈣鈦礦太陽能電池制備
更新時間：2024-11-06
廠商性質：生產(chǎn)廠家
詳情介紹
PCE-6--小型等離子清洗機的等離子腔體為?160mm×190mm的石英腔體，采用的射頻電源功率3.0MHz（1%），輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質（如親水和疏水性等），對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。
| 功能特點 |
|---|
通過控制面板的按鍵及開關，可控制調(diào)節(jié)射頻功率、真空泵的開閉、清洗時間；
時間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上；
設有一個三通閥，可精確控制進氣流量，以及大氣流清洗腔體，進氣接口為6mm卡套接口；
選用大功率射頻電源設備可進行等離子刻蝕和等離子灰化實驗；
--小型等離子清洗機
設備可實現(xiàn)清洗及蝕刻功能如下：
| 技術參數(shù) | |
|---|---|
| 電源 | 單相AC220V±10%，頻率：50Hz/60Hz，總功率約600W（含真空泵） |
| 輸出功率 | 7.2W、10.2W、29.6W |
| 射頻頻率 | 3.0MHz，功率3檔可手動調(diào)節(jié) |
| 等離子腔體 | 高純石英腔體，?160mm×190mm，采用鋁制折疊式法蘭進行密封，法蘭上設有?45mm的觀察窗 |
| 真空泵 | 標配直連式雙旋真空泵，流量120L/min，功率約500W |
| 極限真空度 | 50mtorr |
| 通入氣體 | 可通入多種氣體來產(chǎn)生等離子，如N2、Ar、H2、O2、Air和混合氣體等（根據(jù)材料性質選定） |
| 外形尺寸 | 約L400*W300*H300mm（不含真空泵） |
| 重量 | 約10.2kg（不含真空泵） |
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